現在，隨著半導體電子技術的發展，集成度越來越高的集成電路也對清潔度要求越來越高。這為遼寧FFU在大規模規劃中的應用帶來了機遇，FFU系統本身具有獨特的優勢，主要包括以下幾點:

1.靈活性。因為FFU是自供電的，不受地域限制。在這樣一個大的潔凈車間，可以根據需要進行分區控制。而且，隨著半導體生產工藝的變化，工廠的布局也必須相應地調整。FFU的靈活性使得這種調整更加容易，不會帶來二次投資。

2.可重用性。從理論上講，FFU設備在一段時間內沒有使用，可以拆卸、密封并妥善保存，以備下次使用。

3.負壓通風。這是FFU的一個獨特特性。由于能提供靜壓，送風的靜壓箱相對于潔凈車間的負壓是相對的。這樣，靜壓箱內的顆粒在壓力作用下不會泄漏到潔凈區，使密封非常簡單安全。

4.縮短工期。FFU的使用節省了風管的生產和安裝，因為風管在清洗工程中占用了較大的施工周期。任何投資者都希望投資能夠盡快帶來收益，所以選擇FFU是有可能的。

5.減少運營成本。FFU雖然初期投資高于風道通風，但在后期運行中具有節能、免維護的特點。

6.節省空間。與RCU HEPA系統相比，FFU DCC系統具有更高的可靠性

在靜壓室中占用較少的樓層高度，基本上不占用潔凈室空間。RCU無論是掛在天花板上還是安裝在潔凈室里，都占用了很多空間。